フォトレジストの最先端技術 (エレクトロニクスシリーズ)
フォトレジストの最先端技術 = Leading edge technologies of photoresist
(エレクトロニクスシリーズ)
- Call No. (NDL)
- PA441-M131
- Bibliographic ID of National Diet Library
- 032396046
Detailed bibliographic record
Summary, etc.：
- IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発，EUVレジストなどの先端技術，解析・評価，塗布・露光・現像・光源装置に関する情報を網羅。(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
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Table of Contents
目次
【第Ⅰ編 ロードマップとリソグラフィ・フォトレジストの基礎】
第1章 半導体ロードマップと今後の展開
1 緒言/ 2
2 半導体デバイスのトレンドと課題/ 4
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Paper- Call No.：
- 578.4-5431-2022
- Book Registration Number：
- 7116059087
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 978-4-7813-1679-6
- Title
- Title Transcription
- フォトレジスト ノ サイセンタン ギジュツ
- Author/Editor
- 遠藤政孝 監修
- Series Title
- Author Heading
- 監修者 ： 遠藤, 政孝 エンドウ, マサユキ ( 032487698 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2022.9
- Publication Date (W3CDTF)
- 2022