二次イオン質量分析法

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-621-31135-6
• タイトル: 二次イオン質量分析法
• タイトルよみ: ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ
• 版: 第2版
• シリーズタイトル: 表面分析技術選書
• シリーズ著者・編者: 日本表面真空学会 編
• 著者標目: 編集責任者 ： 日本表面真空学会 ニホン ヒョウメン シンクウ ガッカイ ( 001293349 )典拠
• 出版事項: 東京 : 丸善出版 (出版)
• 出版年月日等: 2025.5
• 出版年（W3CDTF）: 2025
• 数量: 226p
• 大きさ: 21cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• 件名標目: 表面 (工学) ヒョウメン (コウガク) ( 00563858 )典拠; 質量分析 シツリョウブンセキ ( 00571301 )典拠; イオンビーム イオンビーム ( 00576754 )典拠
• NDC10版: 428.4 : 物性物理学
• NDLC: MC141
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 索引あり
• 原資料等に関する注記: 初版: 丸善 1999年刊
• 入手条件・定価: 4000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: MC141-R13
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 034098362; http://id.ndl.go.jp/bib/034098362
• 全国書誌番号: 24130295
• トーハンMARC番号: 34741938
• 目録規則: 日本目録規則2018年版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: 二次イオン質量分析法（SIMS）は，試料表面にイオンビームを照射し，飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し，さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である．金属や半導体から高分子材料, 生体試料にも適用できる分析法として，多くの研究分野で活用されている．25年ぶりの大改訂となる本...

目次

1　二次イオン質量分析法（SIMS）とは何か/1.1　なぜSIMSで表面分析ができるのか/1.2　なぜSIMSで深さ方向分析ができるのか/1.3　なぜSIMSでイメージングができるのか/1.4　SIMSの歴史/1.5　SIMSで分析できる試料/2　 SIMSの原理/2.1　スパッタリング収率/2.2　二次イオン化率 と二次イオン収率/2.3　マトリックス効果/3　SIMS装置の基礎/3.1　装置の概略/3.2　一次イオン照射系/3.3　ガスクラスターイオンビーム（GCIB）/3.4　二次イオン質量分析計/3.5　高空間分解能SIMS/4　SIMSによる測定の実際/4.1　試料の準備/4.2　無機物の定性分析/4.3　有機物の定性分析/4.4　定量分析/4.5　深さ方向分析/4.6　二次元・三次元イメージング/5　SIMSの応用・発展/5.1　無機物・金属・半導体の測定および元素分析/5.2　有機物・高分子の測定/5.3　生体試料の測定/5.4　発展的手法/おわりに：これからのSIMS/索引