ナノ加工技術ハンドブック = Handbook of nanofabrication

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-909933-97-3
• タイトル: ナノ加工技術ハンドブック
• タイトルよみ: ナノ カコウ ギジュツ ハンドブック
• 著者・編者: ナノ加工技術ハンドブック編集委員会 編
• 出版事項: 堺 : 大阪公立大学出版会 (出版)
• 出版年月日等: 2025.11
• 出版年（W3CDTF）: 2025
• 数量: 457 p
• 大きさ: 26 cm
• 並列タイトル等: Handbook of nanofabrication Handbook of nanofabrication; Handbook of nanofabrication
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• 件名標目: ナノテクノロジー ナノテクノロジー ( 00907854 )典拠
• NDC10版: 500 : 技術．工学
• NDLC: M21
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり
• 入手条件・定価: 4000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M21-R51
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 034419785; http://id.ndl.go.jp/bib/034419785
• 全国書誌番号: 24203974
• 目録規則: 日本目録規則2018年版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: 様々な物質をナノサイズに加工する「ナノ加工技術」は，先端半導体，光デバイス，バイオデバイス，量子デバイス等の動作原理に関わるナノテクノロジーを具現化し、産業化するために必要不可欠な技術です．その方法は，光，電子線，イオン線，X 線など広義の放射線を利用するものや，化学反応を利用することにより，分子，...

目次

1章　微細加工技術

2章　ナノ加工の基礎（プロセス科学と装置）

3章　ナノ構造形成技術

4章　ナノ構造評価・計測

5章　ナノ加工のデバイス応用