ナノ加工技術ハンドブック = Handbook of nanofabrication

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-909933-97-3
• Title: ナノ加工技術ハンドブック
• Title Transcription: ナノ カコウ ギジュツ ハンドブック
• Author/Editor: ナノ加工技術ハンドブック編集委員会 編
• Publication, Distribution, etc.: 堺 : 大阪公立大学出版会 (出版)
• Publication Date: 2025.11
• Publication Date (W3CDTF): 2025
• Extent: 457 p
• Size: 26 cm
• Alternative Title: Handbook of nanofabrication Handbook of nanofabrication; Handbook of nanofabrication
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Content Type: テキスト
• Media Type: 機器不用
• Carrier Type: 冊子
• Subject Heading: ナノテクノロジー ナノテクノロジー ( 00907854 )Authorities
• NDC 10th ed.: 500 : Technology. Engineering
• NDLC: M21
• NDC (Introduction of Reference Books): 500
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 文献あり
• Price: 4000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: M21-R51
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 034419785; http://id.ndl.go.jp/bib/034419785
• National Bibliography No. (JPNO): 24203974
• Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules 2018 Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Summary, etc.: 様々な物質をナノサイズに加工する「ナノ加工技術」は，先端半導体，光デバイス，バイオデバイス，量子デバイス等の動作原理に関わるナノテクノロジーを具現化し、産業化するために必要不可欠な技術です．その方法は，光，電子線，イオン線，X 線など広義の放射線を利用するものや，化学反応を利用することにより，分子，...

Table of Contents

1章　微細加工技術

2章　ナノ加工の基礎（プロセス科学と装置）

3章　ナノ構造形成技術

4章　ナノ構造評価・計測

5章　ナノ加工のデバイス応用