走査電子顕微鏡

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-621-31227-8
• タイトル: 走査電子顕微鏡
• タイトルよみ: ソウサ デンシ ケンビキョウ
• 版: 第2版
• シリーズタイトル: 表面分析技術選書
• シリーズ著者・編者: 日本表面真空学会 編
• 著者標目: 編集責任者 ： 日本表面真空学会 ニホン ヒョウメン シンクウ ガッカイ ( 001293349 )典拠
• 出版事項: 東京 : 丸善出版 (出版)
• 出版年月日等: 2025.12
• 出版年（W3CDTF）: 2025
• 数量: 212p
• 大きさ: 21cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• 件名標目: 走査型電子顕微鏡 ソウサガタデンシケンビキョウ ( 01133881 )典拠
• NDC10版: 549.97 : 電子工学
• NDLC: ND448
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 索引あり
• 原資料等に関する注記: 初版のタイトル等: ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡(丸善 2004年刊)
• 入手条件・定価: 3800円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND448-R3
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 034468332; http://id.ndl.go.jp/bib/034468332
• 全国書誌番号: 24211838
• トーハンMARC番号: 34820787
• 目録規則: 日本目録規則2018年版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: 走査電子顕微鏡の基礎から，試料ごとの前処理法や観察手法など応用的な内容までを解説．（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））

目次

1　走査電子顕微鏡（SEM）とは何か/1.1　なぜSEMで表面観察ができるのか/1.2　なぜSEMで分析ができるのか/1.3　SEMの歴史/2　 SEMの像形成の基礎/2.1　二次電子・反射電子の発生/2.2　像のコントラスト/2.3　SEMのプローブ径/2.4　SEMの像分解能評価/3　SEMの装置/3.1　電子源と電子照射系/3.2　対物レンズと検出器/3.3　低真空観察・低加速電圧観察が可能な装置/3.4　付属装置（EDS, WDS, EBSD, CL, ラマン）/4　走査電子顕微鏡観察の実際/4.1　測定条件の設定/4.2　画像の取得/4.3　試料の準備/4.4　試料前処理/5　SEMの応用・発展/5.1　金属の観察/5.2　セラミックスの観察/5.3　高分子の観察/5.4　植物試料の観察/5.5　動物の観察/5.6　複合材料の観察（二次電池の観察）/5.7　半導体故障解析/5.8　ナノマテリアルの観察/6　発展的手法/6.1　データの数値化・機械学習の応用/6.2　集束イオンビーム（FIB）との併用・三次元像構築/6.3　自動化/索引/