走査電子顕微鏡

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-621-31227-8
• Title: 走査電子顕微鏡
• Title Transcription: ソウサ デンシ ケンビキョウ
• Edition: 第2版
• Series Title: 表面分析技術選書
• Author/Editor (Series Title): 日本表面真空学会 編
• Author Heading: 編集責任者 ： 日本表面真空学会 ニホン ヒョウメン シンクウ ガッカイ ( 001293349 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 丸善出版 (出版)
• Publication Date: 2025.12
• Publication Date (W3CDTF): 2025
• Extent: 212p
• Size: 21cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Content Type: テキスト
• Media Type: 機器不用
• Carrier Type: 冊子
• Subject Heading: 走査型電子顕微鏡 ソウサガタデンシケンビキョウ ( 01133881 )Authorities
• NDC 10th ed.: 549.97 : Electronic engineering
• NDLC: ND448
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 索引あり
• Note (Original Version): 初版のタイトル等: ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡(丸善 2004年刊)
• Price: 3800円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND448-R3
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 034468332; http://id.ndl.go.jp/bib/034468332
• National Bibliography No. (JPNO): 24211838
• TOHAN MARC No.: 34820787
• Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules 2018 Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Summary, etc.: 走査電子顕微鏡の基礎から，試料ごとの前処理法や観察手法など応用的な内容までを解説．(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)

Table of Contents

1　走査電子顕微鏡（SEM）とは何か/1.1　なぜSEMで表面観察ができるのか/1.2　なぜSEMで分析ができるのか/1.3　SEMの歴史/2　 SEMの像形成の基礎/2.1　二次電子・反射電子の発生/2.2　像のコントラスト/2.3　SEMのプローブ径/2.4　SEMの像分解能評価/3　SEMの装置/3.1　電子源と電子照射系/3.2　対物レンズと検出器/3.3　低真空観察・低加速電圧観察が可能な装置/3.4　付属装置（EDS, WDS, EBSD, CL, ラマン）/4　走査電子顕微鏡観察の実際/4.1　測定条件の設定/4.2　画像の取得/4.3　試料の準備/4.4　試料前処理/5　SEMの応用・発展/5.1　金属の観察/5.2　セラミックスの観察/5.3　高分子の観察/5.4　植物試料の観察/5.5　動物の観察/5.6　複合材料の観察（二次電池の観察）/5.7　半導体故障解析/5.8　ナノマテリアルの観察/6　発展的手法/6.1　データの数値化・機械学習の応用/6.2　集束イオンビーム（FIB）との併用・三次元像構築/6.3　自動化/索引/