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SANS를 이용한 저유전율 박막의 기공 특성 분석

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SANS를 이용한 저유전율 박막의 기공 특성 분석

国立国会図書館請求記号
ND21-K1
国立国会図書館書誌ID
a1000069783
資料種別
図書
著者
제주대학교 연구
出版者
과학기술부
出版年
2007.10
資料形態
ページ数・大きさ等
68p ; 30cm
NDC
-
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資料に関する注記

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書誌情報

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資料種別
図書
著者・編者
제주대학교 연구
出版年月日等
2007.10
出版年(W3CDTF)
2007
数量
68p
大きさ
30cm
並列タイトル等
Analysis of the porous properties of the low dielectric films by using SANS