博士論文

ゲルマニウム基板上の極薄・高濃度リンドナー活性層の作製と評価(本文)

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ゲルマニウム基板上の極薄・高濃度リンドナー活性層の作製と評価(本文)

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/10121573
資料種別
博士論文
著者
山田, 道洋
出版者
慶應義塾大学大学院理工学研究科
出版年
2016-02-01
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
慶應義塾大学,博士(工学)
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目次

  • 2019-09-09 再収集

  • 2023-03-07 再収集

  • 2023-12-08 再収集

書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
山田, 道洋
著者標目
出版年月日等
2016-02-01
出版年(W3CDTF)
2016-02-01
並列タイトル等
ゲルマニウム キバンジョウ ノ ゴクウス・コウノウド リンドナー カッセイソウ ノ サクセイ ト ヒョウカ (ホンブン)
Gerumaniumu kibanjo no gokuusu konodo rindona kasseiso no sakusei to hyoka (honbun)
Fabrication and characterization of ultra-thin, high concentration phosphorous donor layers on Ge substrates
授与機関名
慶應義塾大学
授与年月日
2016-02-01