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博士論文

ゲルマニウム基板上の極薄・高濃度リンドナー活性層の作製と評価(本文)

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ゲルマニウム基板上の極薄・高濃度リンドナー活性層の作製と評価(本文)

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/10121573
Material type
博士論文
Author
山田, 道洋
Publisher
慶應義塾大学大学院理工学研究科
Publication date
2016-02-01
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
慶應義塾大学,博士(工学)
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type:text

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
山田, 道洋
Author Heading
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2016-02-01
Publication Date (W3CDTF)
2016-02-01
Alternative Title
ゲルマニウム キバンジョウ ノ ゴクウス・コウノウド リンドナー カッセイソウ ノ サクセイ ト ヒョウカ (ホンブン)
Gerumaniumu kibanjo no gokuusu konodo rindona kasseiso no sakusei to hyoka (honbun)
Fabrication and characterization of ultra-thin, high concentration phosphorous donor layers on Ge substrates
Degree grantor/type
慶應義塾大学
Date Granted
2016-02-01