全反射蛍光XAFSによるa-InGaZnO薄膜の局所構造解析

• 資料種別: 記事
• タイトル: 全反射蛍光XAFSによるa-InGaZnO薄膜の局所構造解析
• 著者・編者: 安野聡; 稲葉雅之; 小坂修司
• 出版事項: 日本 : 高輝度光科学研究センター
• 出版年月日等: 2016-07-25
• 出版年（W3CDTF）: 2016-07-25
• 並列タイトル等: Local structural analysis of amorphous In-Ga-Zn-O thin films by total reflection fluorescence X-ray absorption fine structure technique
• タイトル（掲載誌）: SPring-8/SACLA利用研究成果集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 4(2)
• 掲載巻: 4(2)
• ISSN（掲載誌）: 2187-6886
• ISSN-L（掲載誌）: 2187-6886
• 本文の言語コード: jpn
• DOI: 10.18957/rr.4.2.268; https://doi.org/10.18957/rr.4.2.268
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10223288; https://dl.ndl.go.jp/pid/10223288
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: オンライン資料収集制度
• 受理日（W3CDTF）: 2016-11-23T03:15:41+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2016-10-04
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 掲載誌（URI）: https://user.spring8.or.jp/resrep/
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10223262; https://dl.ndl.go.jp/pid/10223262
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: アモルファスInGaZnO(以下、a-IGZO)における熱処理やArプラズマ処理に対する薄膜表面近傍の局所構造を調べるため全反射蛍光XAFS測定を実施した。Ga-K吸収端及びZn-K吸収端から導出した動径構造関数から、熱処理有無によるMetal (Ga, Zn) – Oの結合距離や第一隣接ピーク強度...