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電子書籍・電子雑誌SPring-8/SACLA利用研究成果集
Volume number4 (2)
全反射蛍光XAFSに...

全反射蛍光XAFSによるa-InGaZnO薄膜の局所構造解析

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全反射蛍光XAFSによるa-InGaZnO薄膜の局所構造解析

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/10223288
Material type
記事
Author
安野聡ほか
Publisher
高輝度光科学研究センター
Publication date
2016-07-25
Material Format
Digital
Journal name
SPring-8/SACLA利用研究成果集 4(2)
Publication Page
-
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アモルファスInGaZnO(以下、a-IGZO)における熱処理やArプラズマ処理に対する薄膜表面近傍の局所構造を調べるため全反射蛍光XAFS測定を実施した。Ga-K吸収端及びZn-K吸収端から導出した動径構造関数から、熱処理有無によるMetal (Ga, Zn) – Oの結合距離や第一隣接ピーク強度...

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Digital

Material Type
記事
Author/Editor
安野聡
稲葉雅之
小坂修司
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2016-07-25
Publication Date (W3CDTF)
2016-07-25
Alternative Title
Local structural analysis of amorphous In-Ga-Zn-O thin films by total reflection fluorescence X-ray absorption fine structure technique
Periodical title
SPring-8/SACLA利用研究成果集
No. or year of volume/issue
4(2)
Volume
4(2)