第 1 部 (3) 薄膜接合材料の界面強度評価

• 資料種別: 記事
• タイトル: 第 1 部 (3) 薄膜接合材料の界面強度評価
• 著者・編者: 平方,寛之; 北村,隆行
• 出版事項: 日本 : 日本機械学会
• 出版年月日等: 2003-03-27
• 出版年（W3CDTF）: 2003-03-27
• 並列タイトル等: Evaluation of Interface Strength between Thin Films
• タイトル（掲載誌）: 材料力学部門春のシンポジウム講演論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2003
• 掲載巻: 2003
• 掲載ページ: 11-16
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: HIRAKATA,Hiroyuki; KITAMURA,Takayuki
• 件名標目: Delamination; Interface Strength; Material Testing; Interface Edge; Thin Film; Copper Film; Micro Material; Atomic Force Microscopy
• 一般注記: 著者所属: 京大工; Affiliation: Department of Engineering Physics and Mechanics, Kyoto University
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10351209; https://dl.ndl.go.jp/pid/10351209
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-06-22
• 受理日（W3CDTF）: 2017-05-19
• 保存日（W3CDTF）: 2017-05-19
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10356242; https://dl.ndl.go.jp/pid/10356242
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: The delamination strength of interface between Cu and TiN thin films considering the internal stress in the films is evaluated. The results show that ...