B-11 半導体デバイスにおける微細 Al および Cu 配線の断線解析

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10351773

資料種別: 記事

著者: 北村,隆行ほか

出版者: 日本機械学会

出版年: 2000-03-29

資料形態: デジタル

掲載誌名: 材料力学部門分科会・研究会合同シンポジウム講演論文集 2000

掲載ページ: p.73-78

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資料に関する注記

一般注記：: 著者所属: 京大工著者所属: 京大院Affiliation: Kyoto University

書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: B-11 半導体デバイスにおける微細 Al および Cu 配線の断線解析
著者・編者: 北村,隆行
澁谷,忠弘
出版事項: 日本 : 日本機械学会
出版年月日等: 2000-03-29
出版年（W3CDTF）: 2000-03-29
並列タイトル等: Failure Analysis of Al and Cu Micro-wires in an LSI chip
タイトル（掲載誌）: 材料力学部門分科会・研究会合同シンポジウム講演論文集
巻号年月日等（掲載誌）: 2000
掲載巻: 2000
掲載ページ: 73-78
本文の言語コード: JPN
著者別名: KITAMURA,Takayuki
SHIBUTANI,Tadahiro
一般注記: 著者所属: 京大工
著者所属: 京大院
Affiliation: Kyoto University
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10351773
https://dl.ndl.go.jp/pid/10351773
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
収集根拠: NII-ELS
公開開始日（W3CDTF）: 2017-06-22
受理日（W3CDTF）: 2017-05-19
保存日（W3CDTF）: 2017-05-19
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10356244
https://dl.ndl.go.jp/pid/10356244
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp