B-11 半導体デバイスにおける微細 Al および Cu 配線の断線解析

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10351773

Material type: 記事

Author: 北村,隆行ほか

Publisher: 日本機械学会

Publication date: 2000-03-29

Material Format: Digital

Journal name: 材料力学部門分科会・研究会合同シンポジウム講演論文集 2000

Publication Page: p.73-78

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Note (General)：: 著者所属: 京大工著者所属: 京大院Affiliation: Kyoto University

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Digital

Material Type: 記事
Title: B-11 半導体デバイスにおける微細 Al および Cu 配線の断線解析
Author/Editor: 北村,隆行
澁谷,忠弘
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本機械学会
Publication Date: 2000-03-29
Publication Date (W3CDTF): 2000-03-29
Alternative Title: Failure Analysis of Al and Cu Micro-wires in an LSI chip
Periodical title: 材料力学部門分科会・研究会合同シンポジウム講演論文集
No. or year of volume/issue: 2000
Volume: 2000
Pages: 73-78
Text Language Code: JPN
Alias of Author: KITAMURA,Takayuki
SHIBUTANI,Tadahiro
Note (General): 著者所属: 京大工
著者所属: 京大院
Affiliation: Kyoto University
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10351773
https://dl.ndl.go.jp/pid/10351773
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
Acquisition Basis: NII-ELS
Available (W3CDTF): 2017-06-22
Date Accepted (W3CDTF): 2017-05-19
Date Captured (W3CDTF): 2017-05-19
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10356244
https://dl.ndl.go.jp/pid/10356244
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp