26aB03P プラズマイオン注入における2次元トレンチ内イオン挙動のPICシミュレーション(プラズマ基礎・応用)

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10461585

資料種別: 記事

著者: 福田,竜也ほか

出版者: プラズマ・核融合学会

出版年: 2003-11-18

資料形態: デジタル

掲載誌名: プラズマ・核融合学会年会予稿集 (20)

掲載ページ: p.127

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資料に関する注記

一般注記：: 著者所属: 茨城大工Affiliation: Faculty of Engineering, Ibaraki Universityレポート・講演番号: 26aB03P

書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 26aB03P プラズマイオン注入における2次元トレンチ内イオン挙動のPICシミュレーション(プラズマ基礎・応用)
著者・編者: 福田,竜也
佐藤,直幸
池畑,隆
出版事項: 日本 : プラズマ・核融合学会
出版年月日等: 2003-11-18
出版年（W3CDTF）: 2003-11-18
並列タイトル等: 26aB03P PIC simulation of the ion dynamics inside a 2-dimensional trench for Plasma Based Ion Implantation
タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会年会予稿集
巻号年月日等（掲載誌）: (20)
掲載巻: (20)
掲載ページ: 127
本文の言語コード: JPN
著者別名: Fukuda,Tatsuya
Sato,Naoyuki
Ikehata,Takashi
一般注記: 著者所属: 茨城大工
Affiliation: Faculty of Engineering, Ibaraki University
レポート・講演番号: 26aB03P
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10461585
https://dl.ndl.go.jp/pid/10461585
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
収集根拠: NII-ELS
公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10389027
https://dl.ndl.go.jp/pid/10389027
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp