26aB03P プラズマイオン注入における2次元トレンチ内イオン挙動のPICシミュレーション(プラズマ基礎・応用)

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10461585

Material type: 記事

Author: 福田,竜也ほか

Publisher: プラズマ・核融合学会

Publication date: 2003-11-18

Material Format: Digital

Journal name: プラズマ・核融合学会年会予稿集 (20)

Publication Page: p.127

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Note (General)：: 著者所属: 茨城大工Affiliation: Faculty of Engineering, Ibaraki Universityレポート・講演番号: 26aB03P

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Digital

Material Type: 記事
Title: 26aB03P プラズマイオン注入における2次元トレンチ内イオン挙動のPICシミュレーション(プラズマ基礎・応用)
Author/Editor: 福田,竜也
佐藤,直幸
池畑,隆
Publication, Distribution, etc.: 日本 : プラズマ・核融合学会
Publication Date: 2003-11-18
Publication Date (W3CDTF): 2003-11-18
Alternative Title: 26aB03P PIC simulation of the ion dynamics inside a 2-dimensional trench for Plasma Based Ion Implantation
Periodical title: プラズマ・核融合学会年会予稿集
No. or year of volume/issue: (20)
Volume: (20)
Pages: 127
Text Language Code: JPN
Alias of Author: Fukuda,Tatsuya
Sato,Naoyuki
Ikehata,Takashi
Note (General): 著者所属: 茨城大工
Affiliation: Faculty of Engineering, Ibaraki University
レポート・講演番号: 26aB03P
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10461585
https://dl.ndl.go.jp/pid/10461585
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
Acquisition Basis: NII-ELS
Available (W3CDTF): 2017-08-23
Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10389027
https://dl.ndl.go.jp/pid/10389027
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp