23pB07 2nd Harmonic ECRによる低気圧マイクロプラズマの特性(プラズマ基礎II, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
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国立国会図書館デジタルコレクション
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 藤山,寛井上,弘之黒木,大輔古江,陽光松田,良信篠原,正典
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2004-11-20
- 出版年(W3CDTF)
- 2004-11-20
- 並列タイトル等
- 23pB07 Characteristics of Low-pressure Micro Plasmas using the 2^<nd> Harmonic ECR
- タイトル(掲載誌)
- プラズマ・核融合学会年会予稿集
- 巻号年月日等(掲載誌)
- (21)
- 掲載巻
- (21)