スパッタ法による磁性薄膜堆積過程のシミュレーション

• 資料種別: 記事
• タイトル: スパッタ法による磁性薄膜堆積過程のシミュレーション
• 著者・編者: 星,陽一; 鈴木,英佐
• 出版事項: 日本 : 日本応用磁気学会
• 出版年月日等: 1998-07-01
• 出版年（W3CDTF）: 1998-07-01
• 並列タイトル等: Computer Simulation of Sputter-Deposition Processes for Magnetic Thin Films
• タイトル（掲載誌）: 日本応用磁気学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 22(7)
• 掲載巻: 22(7)
• 掲載ページ: 1119-1124
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: Hoshi,Y; Suzuki,E
• 件名標目: computer simulation; sputtering; sputter deposition; gas scattering; high-energy particle bombardment; magnetic thin film; microstructure; surface migration
• 一般注記: 著者所属: 東京工芸大学工学部; Affiliation: Faculty of Engineering, Tokyo Institute of Polytechnics
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10464057; https://dl.ndl.go.jp/pid/10464057
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10389049; https://dl.ndl.go.jp/pid/10389049
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: A computer simulation method for sputter deposition processes is introduced, and some of the simulated results obtained are presented. The effects of ...