パルス磁場を用いた単結晶シリコンの新規切断方法

• 資料種別: 記事
• タイトル: パルス磁場を用いた単結晶シリコンの新規切断方法
• 著者・編者: 金子,英雄; 大橋,健; 俵,好夫; 晴山,武; 三浦,登
• 出版事項: 日本 : 日本応用磁気学会
• 出版年月日等: 1999-04-15
• 出版年（W3CDTF）: 1999-04-15
• 並列タイトル等: New Cutting Method of Single Crystal Silicon Using a Pulsed Magnetic Field
• タイトル（掲載誌）: 日本応用磁気学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 23(4-2)
• 掲載巻: 23(4-2)
• 掲載ページ: 1477-1480
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: Kaneko,H.; Ohashi,K.; Tawara,Y.; Haruyama,T.; Miura,N.
• 件名標目: cutting method; pulsed magnetic field; coil; single-crystal silicon
• 一般注記: 著者所属: 信越化学工業(株)磁性材料研究所; 著者所属: 東京大学物性研究所; Affiliation: Magnetic Materials R & D Center, Shin-Etsu Chemical Co.; Affiliation: Institute for Solid State Physics, University of Tokyo
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10464605; https://dl.ndl.go.jp/pid/10464605
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10389060; https://dl.ndl.go.jp/pid/10389060
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: A new cutting method using a pulsed magnetic field has been studied. A piece of single-crystal silicon is wound with a secondary coil, and is placed i...