パルス磁場を用いた単結晶シリコンの新規切断方法

• Material Type: 記事
• Title: パルス磁場を用いた単結晶シリコンの新規切断方法
• Author/Editor: 金子,英雄; 大橋,健; 俵,好夫; 晴山,武; 三浦,登
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本応用磁気学会
• Publication Date: 1999-04-15
• Publication Date (W3CDTF): 1999-04-15
• Alternative Title: New Cutting Method of Single Crystal Silicon Using a Pulsed Magnetic Field
• Periodical title: 日本応用磁気学会誌
• No. or year of volume/issue: 23(4-2)
• Volume: 23(4-2)
• Pages: 1477-1480
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: Kaneko,H.; Ohashi,K.; Tawara,Y.; Haruyama,T.; Miura,N.
• Subject Heading: cutting method; pulsed magnetic field; coil; single-crystal silicon
• Note (General): 著者所属: 信越化学工業(株)磁性材料研究所; 著者所属: 東京大学物性研究所; Affiliation: Magnetic Materials R & D Center, Shin-Etsu Chemical Co.; Affiliation: Institute for Solid State Physics, University of Tokyo
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10464605; https://dl.ndl.go.jp/pid/10464605
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-23
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10389060; https://dl.ndl.go.jp/pid/10389060
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: A new cutting method using a pulsed magnetic field has been studied. A piece of single-crystal silicon is wound with a secondary coil, and is placed i...