集束イオンビームを用いた微小強磁性トンネル接合の作製(薄膜)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 集束イオンビームを用いた微小強磁性トンネル接合の作製(薄膜)
• 著者・編者: 渡邊,大輔; 久保田,均; 安藤,康夫; 宮崎,照宣
• 出版事項: 日本 : 日本応用磁気学会
• 出版年月日等: 2004-04-01
• 出版年（W3CDTF）: 2004-04-01
• 並列タイトル等: Fabrication of Small Magnetic Tunnel Junctions Using a Focused Ion Beam(Thin Films)
• タイトル（掲載誌）: 日本応用磁気学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 28(4)
• 掲載巻: 28(4)
• 掲載ページ: 569-572
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: Watanabe,D.; Kubota,H.; Ando,Y.; Miyazaki,T.
• 件名標目: magnetic tunnel junctions; MRAM; FIB
• 一般注記: 著者所属: 東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻; Affiliation: Department of Applied Physics, Graduate School of Engineering, Tohoku University
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10466648; https://dl.ndl.go.jp/pid/10466648
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-23
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-15
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10389122; https://dl.ndl.go.jp/pid/10389122
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: A process for fabricating small magnetic tunnel junctions (MTJs) by using focused ion beam (FIB)-assisted chemical vapor deposition was investigated. ...