集束イオンビームを用いた微小強磁性トンネル接合の作製(薄膜)

• Material Type: 記事
• Title: 集束イオンビームを用いた微小強磁性トンネル接合の作製(薄膜)
• Author/Editor: 渡邊,大輔; 久保田,均; 安藤,康夫; 宮崎,照宣
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本応用磁気学会
• Publication Date: 2004-04-01
• Publication Date (W3CDTF): 2004-04-01
• Alternative Title: Fabrication of Small Magnetic Tunnel Junctions Using a Focused Ion Beam(Thin Films)
• Periodical title: 日本応用磁気学会誌
• No. or year of volume/issue: 28(4)
• Volume: 28(4)
• Pages: 569-572
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: Watanabe,D.; Kubota,H.; Ando,Y.; Miyazaki,T.
• Subject Heading: magnetic tunnel junctions; MRAM; FIB
• Note (General): 著者所属: 東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻; Affiliation: Department of Applied Physics, Graduate School of Engineering, Tohoku University
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10466648; https://dl.ndl.go.jp/pid/10466648
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-23
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-15
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10389122; https://dl.ndl.go.jp/pid/10389122
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: A process for fabricating small magnetic tunnel junctions (MTJs) by using focused ion beam (FIB)-assisted chemical vapor deposition was investigated. ...