624 エレクトロマイグレーション損傷評価を目的としたAl微細配線作製の試み(ナノ材料の特性評価III, 最先端のナノマテリアル)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 624 エレクトロマイグレーション損傷評価を目的としたAl微細配線作製の試み(ナノ材料の特性評価III, 最先端のナノマテリアル)
• 著者・編者: 三輪,聡; 木村,雄二
• 出版事項: 日本 : 日本材料学会
• 出版年月日等: 2005-05-20
• 出版年（W3CDTF）: 2005-05-20
• 並列タイトル等: 624 A Trial to Make Fine Al Line for Evaluating Electromigration Damage
• タイトル（掲載誌）: 学術講演会講演論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 54
• 掲載巻: 54
• 掲載ページ: 423-424
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: MIWA,Satoru; KIMURA,Yuji
• 一般注記: 著者所属: 工学院大学[院]; 著者所属: 工学院大学[工]; レポート・講演番号: 624
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10738409; https://dl.ndl.go.jp/pid/10738409
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10395265; https://dl.ndl.go.jp/pid/10395265
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp