C-323 真空蒸着されたレーザ光マイクロアクチュエータの熱流体特性

• 資料種別: 記事
• タイトル: C-323 真空蒸着されたレーザ光マイクロアクチュエータの熱流体特性
• 著者・編者: 何,英; 野口,敦信; 太田,正廣
• 出版事項: 日本 : 日本流体力学会
• 出版年月日等: 2003-07-28
• 出版年（W3CDTF）: 2003-07-28
• 並列タイトル等: Thermo Fluids Characteristics of Laser Micro Actuator by Vacuum Deposition
• タイトル（掲載誌）: 日本流体力学会年会講演論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2003
• 掲載巻: 2003
• 掲載ページ: 436-437
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: HE,Ying; Noguchi,Atsunobu; OTA,Masahiro
• 一般注記: 著者所属: 都立大; 著者所属: (株)三菱重工; Affiliation: Dept. of Mech. Eng., Tokyo Metropolitan University; Affiliation: (株)三菱重工
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/10921766; https://dl.ndl.go.jp/pid/10921766
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2017-08-30
• 受理日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 保存日（W3CDTF）: 2017-08-22
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10399885; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399885
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: A laser micro actuator, which uses the molecular gas dynamics effect, is proposed in this paper. The carbon film by vacuum evaporation is newly create...