C-323 真空蒸着されたレーザ光マイクロアクチュエータの熱流体特性

• Material Type: 記事
• Title: C-323 真空蒸着されたレーザ光マイクロアクチュエータの熱流体特性
• Author/Editor: 何,英; 野口,敦信; 太田,正廣
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本流体力学会
• Publication Date: 2003-07-28
• Publication Date (W3CDTF): 2003-07-28
• Alternative Title: Thermo Fluids Characteristics of Laser Micro Actuator by Vacuum Deposition
• Periodical title: 日本流体力学会年会講演論文集
• No. or year of volume/issue: 2003
• Volume: 2003
• Pages: 436-437
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: HE,Ying; Noguchi,Atsunobu; OTA,Masahiro
• Note (General): 著者所属: 都立大; 著者所属: (株)三菱重工; Affiliation: Dept. of Mech. Eng., Tokyo Metropolitan University; Affiliation: (株)三菱重工
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/10921766; https://dl.ndl.go.jp/pid/10921766
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2017-08-30
• Date Accepted (W3CDTF): 2017-08-22
• Date Captured (W3CDTF): 2017-08-22
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10399885; https://dl.ndl.go.jp/pid/10399885
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: A laser micro actuator, which uses the molecular gas dynamics effect, is proposed in this paper. The carbon film by vacuum evaporation is newly create...