EUVマスク欠陥検査に用いる新写像投影（PEM）式電子光学系の製作

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11045032

資料種別: 記事

著者: 畠山雅規ほか

出版者: 荏原製作所

出版年: 2013

資料形態: デジタル

掲載誌名: エバラ時報 (241)

掲載ページ: -

すべて見る

国立国会図書館での利用に関する注記

本資料は、掲載誌(URI)等のリンク先にある電子書籍・電子雑誌の提供元Webサイトなどから、本文を自由に閲覧できる場合があります。

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

デジタル

資料種別: 記事
タイトル: EUVマスク欠陥検査に用いる新写像投影（PEM）式電子光学系の製作
著者・編者: 畠山雅規
村上武司
渡辺賢治
出版事項: 日本 : 荏原製作所
出版年月日等: 2013
出版年（W3CDTF）: 2013
並列タイトル等: Development of novel optical system based on projection electron microscopy (PEM) for EUV mask inspection
タイトル（掲載誌）: エバラ時報
巻号年月日等（掲載誌）: (241)
掲載巻: (241)
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11045032
https://dl.ndl.go.jp/pid/11045032
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: オンライン資料収集制度
受理日（W3CDTF）: 2018-02-15T20:30:39+09:00
保存日（W3CDTF）: 2017-12-27
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: https://www.ebara.co.jp/about/technologies/abstract/detail/1196379_4292.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11045029
https://dl.ndl.go.jp/pid/11045029
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp