EUVマスク欠陥検査に用いる新写像投影（PEM）式電子光学系の製作

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11045032

Material type: 記事

Author: 畠山雅規ほか

Publisher: 荏原製作所

Publication date: 2013

Material Format: Digital

Journal name: エバラ時報 (241)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: EUVマスク欠陥検査に用いる新写像投影（PEM）式電子光学系の製作
Author/Editor: 畠山雅規
村上武司
渡辺賢治
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 荏原製作所
Publication Date: 2013
Publication Date (W3CDTF): 2013
Alternative Title: Development of novel optical system based on projection electron microscopy (PEM) for EUV mask inspection
Periodical title: エバラ時報
No. or year of volume/issue: (241)
Volume: (241)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11045032
https://dl.ndl.go.jp/pid/11045032
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2018-02-15T20:30:39+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2017-12-27
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://www.ebara.co.jp/about/technologies/abstract/detail/1196379_4292.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/11045029
https://dl.ndl.go.jp/pid/11045029
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp