巻号(48)
低抵抗シリコン基板を...
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低抵抗シリコン基板を用いたポーラスシリコンの作製

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低抵抗シリコン基板を用いたポーラスシリコンの作製

国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11053516
資料種別
記事
著者
大向雅人ほか
出版者
国立高等専門学校機構明石工業高等専門学校
出版年
2005-12
資料形態
デジタル
掲載誌名
明石工業高等専門学校研究紀要 (48)
掲載ページ
-
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資料に関する注記

一般注記:

ウェブページ記載の著者: 大向雅人、青位裕輔、藤澤宣弘

書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
大向雅人
青位祐輔
藤澤宣弘
出版年月日等
2005-12
出版年(W3CDTF)
2005-12
並列タイトル等
Fabrication of porous silicon using low-resistivity silicon wafer
タイトル(掲載誌)
明石工業高等専門学校研究紀要
巻号年月日等(掲載誌)
(48)
掲載巻
(48)