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低抵抗シリコン基板を...
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低抵抗シリコン基板を用いたポーラスシリコンの作製

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低抵抗シリコン基板を用いたポーラスシリコンの作製

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11053516
Material type
記事
Author
大向雅人ほか
Publisher
国立高等専門学校機構明石工業高等専門学校
Publication date
2005-12
Material Format
Digital
Journal name
明石工業高等専門学校研究紀要 (48)
Publication Page
-
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ウェブページ記載の著者: 大向雅人、青位裕輔、藤澤宣弘

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Digital

Material Type
記事
Author/Editor
大向雅人
青位祐輔
藤澤宣弘
Publication Date
2005-12
Publication Date (W3CDTF)
2005-12
Alternative Title
Fabrication of porous silicon using low-resistivity silicon wafer
Periodical title
明石工業高等専門学校研究紀要
No. or year of volume/issue
(48)
Volume
(48)