DCスパッタ装置の特性と銀薄膜の堆積

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11053597

資料種別: 記事

著者: 大向雅人ほか

出版者: 国立高等専門学校機構明石工業高等専門学校

出版年: 2010-12-24

資料形態: デジタル

掲載誌名: 明石工業高等専門学校研究紀要 (53)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: DCスパッタ装置の特性と銀薄膜の堆積
著者・編者: 大向雅人
石田啓一
堤保雄
出版事項: 日本 : 国立高等専門学校機構明石工業高等専門学校
出版年月日等: 2010-12-24
出版年（W3CDTF）: 2010-12-24
並列タイトル等: Characteristics of DC sputtering apparatus and deposition of Ag thin films
タイトル（掲載誌）: 明石工業高等専門学校研究紀要
巻号年月日等（掲載誌）: (53)
掲載巻: (53)
ISSN（掲載誌）: 1880-8522
ISSN-L（掲載誌）: 1880-8522
本文の言語コード: jpn
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11053597
https://dl.ndl.go.jp/pid/11053597
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 独立行政法人
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00033
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2018-03-15T11:21:32+09:00
保存日（W3CDTF）: 2017-01-09
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 不可
利用に関する注記: 本資料は、印刷できません。
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10250864/www.akashi.ac.jp/library/bulletin/no53
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11053596
https://dl.ndl.go.jp/pid/11053596
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp