DCスパッタ装置の特性と銀薄膜の堆積

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11053597

Material type: 記事

Author: 大向雅人ほか

Publisher: 国立高等専門学校機構明石工業高等専門学校

Publication date: 2010-12-24

Material Format: Digital

Journal name: 明石工業高等専門学校研究紀要 (53)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: DCスパッタ装置の特性と銀薄膜の堆積
Author/Editor: 大向雅人
石田啓一
堤保雄
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 国立高等専門学校機構明石工業高等専門学校
Publication Date: 2010-12-24
Publication Date (W3CDTF): 2010-12-24
Alternative Title: Characteristics of DC sputtering apparatus and deposition of Ag thin films
Periodical title: 明石工業高等専門学校研究紀要
No. or year of volume/issue: (53)
Volume: (53)
ISSN (Periodical Title): 1880-8522
ISSN-L (Periodical Title): 1880-8522
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11053597
https://dl.ndl.go.jp/pid/11053597
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 独立行政法人
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00033
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2018-03-15T11:21:32+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2017-01-09
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 不可
Note (Availability): 本資料は、印刷できません。
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10250864/www.akashi.ac.jp/library/bulletin/no53
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/11053596
https://dl.ndl.go.jp/pid/11053596
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp