Development of Green NF3 : lowering the cost and environmental impact of NF3 through the use of additives

• 資料種別: 記事
• タイトル: Development of Green NF3 : lowering the cost and environmental impact of NF3 through the use of additives
• 著者・編者: Mitchell Glenn; Subramanian Ramkumar; Wyse Carrie
• 出版事項: 日本 : 大陽日酸
• 出版年月日等: 2013-11-29
• 出版年（W3CDTF）: 2013-11-29
• 並列タイトル等: Green NF3の開発 : 添加ガスによるコスト削減,環境負荷削減効果の検討
• タイトル（掲載誌）: 大陽日酸技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: (32)
• 掲載巻: (32)
• 本文の言語コード: eng
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11057589; https://dl.ndl.go.jp/pid/11057589
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2018-03-23T13:17:25+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2013-12-16
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8387091/www.tn-sanso-giho.com/report32.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11057586; https://dl.ndl.go.jp/pid/11057586
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp