Development of Green NF3 : lowering the cost and environmental impact of NF3 through the use of additives

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Development of Green NF3 : lowering the cost and environmental impact of NF3 through the use of additives

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11057589

資料種別: 記事

著者: Mitchell Glennほか

出版者: 大陽日酸

出版年: 2013-11-29

資料形態: デジタル

掲載誌名: 大陽日酸技報 (32)

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: Development of Green NF3 : lowering the cost and environmental impact of NF3 through the use of additives
著者・編者: Mitchell Glenn
Subramanian Ramkumar
Wyse Carrie
出版事項: 日本 : 大陽日酸
出版年月日等: 2013-11-29
出版年（W3CDTF）: 2013-11-29
並列タイトル等: Green NF3の開発 : 添加ガスによるコスト削減,環境負荷削減効果の検討
タイトル（掲載誌）: 大陽日酸技報
巻号年月日等（掲載誌）: (32)
掲載巻: (32)
本文の言語コード: eng
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11057589
https://dl.ndl.go.jp/pid/11057589
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
受理日（W3CDTF）: 2018-03-23T13:17:25+09:00
保存日（W3CDTF）: 2013-12-16
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8387091/www.tn-sanso-giho.com/report32.html
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11057586
https://dl.ndl.go.jp/pid/11057586
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
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