含フッ素化合物を用いたナノインプリントリソグラフィ用離型材料の開発
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国立国会図書館デジタルコレクション
デジタルデータあり（関東化学）
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山下恒雄森田正道
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2013-10-01
- 出版年（W3CDTF）
- 2013-10-01
- 並列タイトル等
- Novel fluorinated compounds as release materials in nanoimprint lithography
- タイトル（掲載誌）
- The chemical times
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (230)
- 掲載巻
- (230)