含フッ素化合物を用いたナノインプリントリソグラフィ用離型材料の開発

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11124654

Material type: 記事

Author: 山下恒雄ほか

Publisher: 関東化学

Publication date: 2013-10-01

Material Format: Digital

Journal name: The chemical times (230)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 含フッ素化合物を用いたナノインプリントリソグラフィ用離型材料の開発
Author/Editor: 山下恒雄
森田正道
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 関東化学
Publication Date: 2013-10-01
Publication Date (W3CDTF): 2013-10-01
Alternative Title: Novel fluorinated compounds as release materials in nanoimprint lithography
Periodical title: The chemical times
No. or year of volume/issue: (230)
Volume: (230)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11124654
https://dl.ndl.go.jp/pid/11124654
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2018-08-04T09:17:34+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2017-12-27
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): https://www.kanto.co.jp/times/backno7.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/11124653
https://dl.ndl.go.jp/pid/11124653
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp