化学気相蒸着プロセス及び機器の特徴と応用 (フォーラム「膜形成プロセスとその応用」)

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11141713

資料種別: 記事

著者: 川合,弘ほか

出版者: 溶接学会

出版年: 1988-08-29

資料形態: デジタル

掲載誌名: 溶接学会全国大会講演概要 (43)

掲載ページ: p.20-24

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資料に関する注記

一般注記：: 著者所属: 研究開発本部伊丹研究所著者所属: 電子材料研究部

書誌情報

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 化学気相蒸着プロセス及び機器の特徴と応用 (フォーラム「膜形成プロセスとその応用」)
著者・編者: 川合,弘
藤森,直治
出版事項: 日本 : 溶接学会
出版年月日等: 1988-08-29
出版年（W3CDTF）: 1988-08-29
並列タイトル等: Process and Equipments of CVD, and Applications of CVD Films
タイトル（掲載誌）: 溶接学会全国大会講演概要
巻号年月日等（掲載誌）: (43)
掲載巻: (43)
掲載ページ: 20-24
本文の言語コード: JPN
著者別名: Kawai,Hiromu
Fujimori,Naoji
一般注記: 著者所属: 研究開発本部伊丹研究所
著者所属: 電子材料研究部
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11141713
https://dl.ndl.go.jp/pid/11141713
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
収集根拠: NII-ELS
公開開始日（W3CDTF）: 2018-09-12
受理日（W3CDTF）: 2018-09-05
保存日（W3CDTF）: 2018-09-05
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11151257
https://dl.ndl.go.jp/pid/11151257
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp