静電浮上技術の薄板ハンドリングへの応用(<特集>静電力応用技術の新展開)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 静電浮上技術の薄板ハンドリングへの応用(<特集>静電力応用技術の新展開)
• 著者・編者: 樋口,俊郎
• 出版事項: 日本 : 日本AEM学会
• 出版年月日等: 2003-09-10
• 出版年（W3CDTF）: 2003-09-10
• 並列タイトル等: Electrostatic levitation technology for manipulation of thin plates(<Special Issue>) Recent Progress on Electrostatic Applications
• タイトル（掲載誌）: 日本AEM学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 11(3)
• 掲載巻: 11(3)
• 掲載ページ: 135-140
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: HIGUCHI,Toshiro
• 件名標目: Electrostatic Levitation; Electrostatic Suspension; Electrostatic Actuator; Electrostatic Drive; Flat Panel Display; Silicon Wafer
• 一般注記: 著者所属: 東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11148437; https://dl.ndl.go.jp/pid/11148437
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2018-09-12
• 受理日（W3CDTF）: 2018-09-05
• 保存日（W3CDTF）: 2018-09-05
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11151328; https://dl.ndl.go.jp/pid/11151328
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: As electrostatic force acts on an object without any mechanical contact like the magnetic force, similar levitation system to the magnetic levitation ...