静電浮上技術の薄板ハンドリングへの応用(<特集>静電力応用技術の新展開)

• Material Type: 記事
• Title: 静電浮上技術の薄板ハンドリングへの応用(<特集>静電力応用技術の新展開)
• Author/Editor: 樋口,俊郎
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本AEM学会
• Publication Date: 2003-09-10
• Publication Date (W3CDTF): 2003-09-10
• Alternative Title: Electrostatic levitation technology for manipulation of thin plates(<Special Issue>) Recent Progress on Electrostatic Applications
• Periodical title: 日本AEM学会誌
• No. or year of volume/issue: 11(3)
• Volume: 11(3)
• Pages: 135-140
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: HIGUCHI,Toshiro
• Subject Heading: Electrostatic Levitation; Electrostatic Suspension; Electrostatic Actuator; Electrostatic Drive; Flat Panel Display; Silicon Wafer
• Note (General): 著者所属: 東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11148437; https://dl.ndl.go.jp/pid/11148437
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2018-09-12
• Date Accepted (W3CDTF): 2018-09-05
• Date Captured (W3CDTF): 2018-09-05
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/11151328; https://dl.ndl.go.jp/pid/11151328
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: As electrostatic force acts on an object without any mechanical contact like the magnetic force, similar levitation system to the magnetic levitation ...