Design of a MEMS SOI-Based High-Q Solenoid Inductor(Special Issue to the Asia-Pacific Symposium on Applied Electromagnetics and Mechanics (APSAEM06))

• 資料種別: 記事
• タイトル: Design of a MEMS SOI-Based High-Q Solenoid Inductor(Special Issue to the Asia-Pacific Symposium on Applied Electromagnetics and Mechanics (APSAEM06))
• タイトルよみ: Design of a MEMS SOI-Based High-Q Solenoid Inductor(Special Issue to the Asia-Pacific Symposium on Applied Electromagnetics and Mechanics (APSAEM06))
• 著者・編者: Varghese,M.; Hariz,A. J.
• 出版事項: 日本 : 日本AEM学会
• 出版年月日等: 2007-09-10
• 出版年（W3CDTF）: 2007-09-10
• タイトル（掲載誌）: 日本AEM学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 15(Supplement)
• 掲載巻: 15(Supplement)
• 掲載ページ: S1-S4
• 本文の言語コード: ENG
• 件名標目: Solenoid inductor; MicroElectroMechanical Systems (MEMS); Silicon on insulator (SOI); RF; Micromachining; EM simulation
• 一般注記: 著者所属: School of Electrical and Information Engineering, University of South Australia
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11148933; https://dl.ndl.go.jp/pid/11148933
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2018-09-12
• 受理日（W3CDTF）: 2018-09-05
• 保存日（W3CDTF）: 2018-09-05
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11151345; https://dl.ndl.go.jp/pid/11151345
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: We present a comparative study of various techniques for realising micro inductors on a chip using current silicon micro fabrication technologies. We ...