マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発 : ニッケルめっき電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験(<特集>第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)

• 資料種別: 記事
• タイトル: マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発 : ニッケルめっき電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験(<特集>第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
• 著者・編者: 西田,吉人; 岩附,信行; 森川,広一
• 出版事項: 日本 : 日本AEM学会
• 出版年月日等: 2009-03-10
• 出版年（W3CDTF）: 2009-03-10
• 並列タイトル等: Development of Micro Cilium Actuators in Group : Fabrication of Cilium Actuator Array and Group and Their Driving Experiment(<Special Issue>the 20th Symposium on Electromagnetics and Dynamics)
• タイトル（掲載誌）: 日本AEM学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 17(1)
• 掲載巻: 17(1)
• 掲載ページ: 2-7
• 本文の言語コード: JPN
• 著者別名: NISHIDA,Yoshito; IWATSUKI,Nobuyuki; MORIKAWA,Koichi
• 件名標目: microactuator; cilium actuator; piezoelectric actuator; pipemorph actuator; Ni plating; PZT; hydrothermal method
• 一般注記: 著者所属: (株)東芝; 著者所属: 東京工業大学
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11149133; https://dl.ndl.go.jp/pid/11149133
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: NII-ELS
• 公開開始日（W3CDTF）: 2018-09-12
• 受理日（W3CDTF）: 2018-09-05
• 保存日（W3CDTF）: 2018-09-05
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11151351; https://dl.ndl.go.jp/pid/11151351
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• 要約等: This paper describes the new fabrication process and driving experiments of micro cilium actuators in group. Strong nickel plated layer is obtained by...