マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発 : ニッケルめっき電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験(<特集>第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)

• Material Type: 記事
• Title: マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発 : ニッケルめっき電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験(<特集>第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)
• Author/Editor: 西田,吉人; 岩附,信行; 森川,広一
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本AEM学会
• Publication Date: 2009-03-10
• Publication Date (W3CDTF): 2009-03-10
• Alternative Title: Development of Micro Cilium Actuators in Group : Fabrication of Cilium Actuator Array and Group and Their Driving Experiment(<Special Issue>the 20th Symposium on Electromagnetics and Dynamics)
• Periodical title: 日本AEM学会誌
• No. or year of volume/issue: 17(1)
• Volume: 17(1)
• Pages: 2-7
• Text Language Code: JPN
• Alias of Author: NISHIDA,Yoshito; IWATSUKI,Nobuyuki; MORIKAWA,Koichi
• Subject Heading: microactuator; cilium actuator; piezoelectric actuator; pipemorph actuator; Ni plating; PZT; hydrothermal method
• Note (General): 著者所属: (株)東芝; 著者所属: 東京工業大学
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11149133; https://dl.ndl.go.jp/pid/11149133
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Acquisition Basis: NII-ELS
• Available (W3CDTF): 2018-09-12
• Date Accepted (W3CDTF): 2018-09-05
• Date Captured (W3CDTF): 2018-09-05
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/11151351; https://dl.ndl.go.jp/pid/11151351
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• Summary, etc.: This paper describes the new fabrication process and driving experiments of micro cilium actuators in group. Strong nickel plated layer is obtained by...