次世代のLSIを実現する光 : IHIのプラズマ制御技術が生んだ高変換効率極端紫外光源

• 資料種別: 記事
• タイトル: 次世代のLSIを実現する光 : IHIのプラズマ制御技術が生んだ高変換効率極端紫外光源
• 著者・編者: IHI
• 出版事項: 日本 : IHI
• 出版年月日等: 2012-11
• 出版年（W3CDTF）: 2012-11
• タイトル（掲載誌）: IHI技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 52(4)
• 掲載巻: 52(4)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11193896; https://dl.ndl.go.jp/pid/11193896
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2018-11-30T08:00:42+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2013-02-21
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/7800924/www.ihi.co.jp/ihi/technology/review/52_04.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11193891; https://dl.ndl.go.jp/pid/11193891
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp