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Mechanical Reliability Enhancement of Single Crystal Silicon Microstructures by Means of Diamond-Like Carbon Film Coating
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目次
2021-05-20 再収集
2021-05-20 再収集
2023-09-04 再収集
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Zhang, Wenlei
- 著者標目
- 出版年月日等
- 2019-01-23
- 出版年（W3CDTF）
- 2019-01-23
- 並列タイトル等
- ダイヤモンドライクカーボン膜の全面被覆による単結晶シリコン微細構造の機械的信頼性向上
- 寄与者
- 田畑, 修鈴木, 基史土屋, 智由平方, 寛之
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 2019-01-23