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Synthesis of hexagonal boron nitride by metalorganic chemical vapor deposition for advanced semiconductor devices
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 杨, 旭
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2018
- 出版年（W3CDTF）
- 2018
- 並列タイトル等
- 次世代半導体デバイス創成のための有機金属化合物気相成長法による六方晶窒化ホウ素の合成
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 2018-09-27
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2018-09-27