Synthesis of hexagonal boron nitride by metalorganic chemical vapor deposition for advanced semiconductor devices

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Material Type: 博士論文
Title: Synthesis of hexagonal boron nitride by metalorganic chemical vapor deposition for advanced semiconductor devices
Author/Editor: 杨, 旭
Publication, Distribution, etc.: 杨, 旭
Publication Date: 2018
Publication Date (W3CDTF): 2018
Alternative Title: 次世代半導体デバイス創成のための有機金属化合物気相成長法による六方晶窒化ホウ素の合成
Degree grantor/type: 名古屋大学
Date Granted: 2018-09-27
Date Granted (W3CDTF): 2018-09-27
Dissertation Number: 甲第12501号
Degree Type: 博士(工学)
Text Language Code: eng
Alias of Author: 楊, 旭
Yang, Xu
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11287604
https://dl.ndl.go.jp/pid/11287604
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（送信）
Date Accepted (W3CDTF): 2019-05-31T20:20:21+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp