Two dimensional simulations of VHF plasmas for industrial applications

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11336686

資料種別: 博士論文

著者: 蘇, 俐文

出版者: -

出版年: 2019-03-20

資料形態: デジタル

ページ数・大きさ等: -

授与大学名・学位: 九州大学,博士（工学）

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 博士論文
タイトル: Two dimensional simulations of VHF plasmas for industrial applications
著者・編者: 蘇, 俐文
出版年月日等: 2019-03-20
出版年（W3CDTF）: 2019-03-20
並列タイトル等: 産業応用VHFプラズマの２次元シミュレーション
寄与者: 内野, 喜一郎
中島, 寛
林, 信哉
授与機関名: 九州大学
授与年月日: 2019-03-20
授与年月日（W3CDTF）: 2019-03-20
報告番号: 甲第14581号
学位: 博士（工学）
博論授与番号: 甲第14581号
本文の言語コード: eng
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11336686
https://dl.ndl.go.jp/pid/11336686
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
収集根拠: 博士論文（自動収集）
受理日（W3CDTF）: 2019-08-03T12:23:27+09:00
作成日（W3CDTF）: 2019-05-20
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: http://hdl.handle.net/2324/2236270
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp