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Two dimensional simulations of VHF plasmas for industrial applications
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 蘇, 俐文
- Publication Date
- 2019-03-20
- Publication Date (W3CDTF)
- 2019-03-20
- Alternative Title
- 産業応用VHFプラズマの2次元シミュレーション
- Contributor
- 内野, 喜一郎中島, 寛林, 信哉
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 2019-03-20
- Date Granted (W3CDTF)
- 2019-03-20