半導体材料プロセスにおける結晶欠陥の生成消滅とその透過電子顕微鏡による評価法に関する研究

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11362423

資料種別: 博士論文

著者: 岩田, 博之

出版者: 愛知工業大学

授与年月日: 2018-03-23

資料形態: デジタル

ページ数・大きさ等: -

授与機関名・学位: 愛知工業大学,博士(工学)

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デジタル

資料種別: 博士論文
タイトル: 半導体材料プロセスにおける結晶欠陥の生成消滅とその透過電子顕微鏡による評価法に関する研究
著者・編者: 岩田, 博之
著者標目: 岩田, 博之
出版事項: 愛知工業大学
出版年月日等: 2018-03-23
出版年（W3CDTF）: 2018-03-23
並列タイトル等: ハンドウタイザイリョウプロセスニオケルケッショウケッカンノセイセイショウメツトソノトウカデンシケンビキョウニヨルヒョウカホウニカンスルケンキュウ
掲載ページ: 1-144
授与機関名: 愛知工業大学
授与年月日: 2018-03-23
授与年月日（W3CDTF）: 2018-03-23
報告番号: 乙第30号
学位: 博士(工学)
博論授与番号: 乙第30号
本文の言語コード: jpn
対象利用者: 一般
一般注記: identifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/3308
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11362423
https://dl.ndl.go.jp/pid/11362423
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
収集根拠: 博士論文（自動収集）
受理日（W3CDTF）: 2019-10-04T14:36:02+09:00
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: http://hdl.handle.net/11133/3308
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp