半導体材料プロセスにおける結晶欠陥の生成消滅とその透過電子顕微鏡による評価法に関する研究

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半導体材料プロセスにおける結晶欠陥の生成消滅とその透過電子顕微鏡による評価法に関する研究

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11362423

Material type: 博士論文

Author: 岩田, 博之

Publisher: 愛知工業大学

Publication date: 2018-03-23

Material Format: Digital

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Name of awarding university/degree: 愛知工業大学,博士(工学)

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Material Type: 博士論文
Title: 半導体材料プロセスにおける結晶欠陥の生成消滅とその透過電子顕微鏡による評価法に関する研究
Author/Editor: 岩田, 博之
Publication, Distribution, etc.: 愛知工業大学
Publication Date: 2018-03-23
Publication Date (W3CDTF): 2018-03-23
Alternative Title: ハンドウタイザイリョウプロセスニオケルケッショウケッカンノセイセイショウメツトソノトウカデンシケンビキョウニヨルヒョウカホウニカンスルケンキュウ
Degree grantor/type: 愛知工業大学
Date Granted: 2018-03-23
Date Granted (W3CDTF): 2018-03-23
Dissertation Number: 乙第30号
Degree Type: 博士(工学)
Conferring No. (Dissertation): 乙第30号
Text Language Code: jpn
Note (General): identifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/3308
開始ページ : 1
終了ページ : 144
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11362423
https://dl.ndl.go.jp/pid/11362423
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2019-10-04T14:36:02+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/11133/3308
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp