半導体材料プロセスにおける結晶欠陥の生成消滅とその透過電子顕微鏡による評価法に関する研究
Available in National Diet Library
Find on the publisher's website
NDL Digital Collections
Digital data available（愛知工業大学）
Search by Bookstore
Read this material in an accessible format.
Search by Bookstore
Read in Disability Resources
- Other Services
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 岩田, 博之
- Author Heading
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2018-03-23
- Publication Date (W3CDTF)
- 2018-03-23
- Alternative Title
- ハンドウタイ ザイリョウ プロセス ニオケル ケッショウ ケッカン ノ セイセイ ショウメツ ト ソノ トウカ デンシ ケンビキョウ ニヨル ヒョウカホウ ニカンスル ケンキュウ
- Pages
- 1-144
- Degree Grantor
- 愛知工業大学
- Date Granted
- 2018-03-23
- Date Granted (W3CDTF)
- 2018-03-23
- Dissertation Number
- 乙第30号
- Degree Type
- 博士(工学)
- Conferring No. (Dissertation)
- 乙第30号
- Text Language Code
- jpn
- Target Audience
- 一般
- Note (General)
- identifier:http://repository.aitech.ac.jp/dspace/handle/11133/3308
- Persistent ID (NDL)
- info:ndljp/pid/11362423
- Collection
- Collection (Materials For Handicapped People:1)
- Collection (particular)
- 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
- Acquisition Basis
- 博士論文（自動収集）
- Date Accepted (W3CDTF)
- 2019-10-04T14:36:02+09:00
- Format (IMT)
- application/pdf
- Access Restrictions
- 国立国会図書館内限定公開
- Service for the Digitized Contents Transmission Service
- 図書館・個人送信対象外
- Availability of remote photoduplication service
- 可
- Periodical Title (URI)
- Data Provider (Database)
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション