Attempts toward Machining of the Back Surface of Si Substrate using Infrared Femtosecond Laser

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Attempts toward Machining of the Back Surface of Si Substrate using Infrared Femtosecond Laser
• 著者・編者: LUONG, PHU KHANH
• 出版事項: 長岡技術科学大学
• 出版年月日等: 2020-06-30
• 出版年（W3CDTF）: 2020-06-30
• 並列タイトル等: 赤外フェムト秒レーザーによるSi基板裏面加工の試み
• 寄与者: 教授（主査） 山田昇、教授 明田川正人、教授 磯部浩已、准教授 溝尻瑞枝、名誉教授 伊藤義郎
• 授与機関名: 国立大学法人長岡技術科学大学
• 授与年月日: 2020-06-30
• 授与年月日（W3CDTF）: 2020-06-30
• 報告番号: 甲第940号
• 学位: 博士（工学）
• 博論授与番号: 甲第940号
• 本文の言語コード: eng
• NDC: 500
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11551746; https://dl.ndl.go.jp/pid/11551746
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• 収集根拠: 博士論文（自動収集）
• 受理日（W3CDTF）: 2020-10-06T21:18:06+09:00
• 作成日（W3CDTF）: 2020-09-03
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 掲載誌（URI）: http://hdl.handle.net/10649/00001059
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp