Attempts toward Machining of the Back Surface of Si Substrate using Infrared Femtosecond Laser

国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11551746

資料種別: 博士論文

著者: LUONG, PHU KHANH

出版者: 長岡技術科学大学

出版年: 2020-06-30

資料形態: デジタル

ページ数・大きさ等: -

授与大学名・学位: 国立大学法人長岡技術科学大学,博士（工学）

すべて見る

国立国会図書館での利用に関する注記

本資料は、掲載誌(URI)等のリンク先にある学位授与機関のWebサイトやCiNii Dissertationsから、本文を自由に閲覧できる場合があります。

書店で探す

障害者向け資料で読む

障害者向け資料を見る（1種類）

書店で探す

障害者向け資料で読む

他サービス
- テキストデータ国立国会図書館デジタルコレクションで確認する

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

デジタル

資料種別: 博士論文
タイトル: Attempts toward Machining of the Back Surface of Si Substrate using Infrared Femtosecond Laser
著者・編者: LUONG, PHU KHANH
出版事項: 長岡技術科学大学
出版年月日等: 2020-06-30
出版年（W3CDTF）: 2020-06-30
並列タイトル等: 赤外フェムト秒レーザーによるSi基板裏面加工の試み
寄与者: 教授（主査）　山田昇、教授　明田川正人、教授　磯部浩已、准教授　溝尻瑞枝、名誉教授　伊藤義郎
授与機関名: 国立大学法人長岡技術科学大学
授与年月日: 2020-06-30
授与年月日（W3CDTF）: 2020-06-30
報告番号: 甲第940号
学位: 博士（工学）
博論授与番号: 甲第940号
本文の言語コード: eng
NDC: 500
国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/11551746
https://dl.ndl.go.jp/pid/11551746
コレクション（共通）: 障害者向け資料
コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
収集根拠: 博士論文（自動収集）
受理日（W3CDTF）: 2020-10-06T21:18:06+09:00
作成日（W3CDTF）: 2020-09-03
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
掲載誌（URI）: http://hdl.handle.net/10649/00001059
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp