Attempts toward Machining of the Back Surface of Si Substrate using Infrared Femtosecond Laser

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11551746

Material type: 博士論文

Author: LUONG, PHU KHANH

Publisher: 長岡技術科学大学

Publication date: 2020-06-30

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 国立大学法人長岡技術科学大学,博士（工学）

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: Attempts toward Machining of the Back Surface of Si Substrate using Infrared Femtosecond Laser
Author/Editor: LUONG, PHU KHANH
Publication, Distribution, etc.: 長岡技術科学大学
Publication Date: 2020-06-30
Publication Date (W3CDTF): 2020-06-30
Alternative Title: 赤外フェムト秒レーザーによるSi基板裏面加工の試み
Contributor: 教授（主査）　山田昇、教授　明田川正人、教授　磯部浩已、准教授　溝尻瑞枝、名誉教授　伊藤義郎
Degree grantor/type: 国立大学法人長岡技術科学大学
Date Granted: 2020-06-30
Date Granted (W3CDTF): 2020-06-30
Dissertation Number: 甲第940号
Degree Type: 博士（工学）
Conferring No. (Dissertation): 甲第940号
Text Language Code: eng
NDC: 500
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11551746
https://dl.ndl.go.jp/pid/11551746
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2020-10-06T21:18:06+09:00
Date Created (W3CDTF): 2020-09-03
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/10649/00001059
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp